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中科艾爾明星產(chǎn)品推薦——QPV/QPVH系列隔膜閥

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【摘要】:
QPVH/QPV系列隔膜閥,專為需要高精度、高純度及嚴苛工作環(huán)境的應(yīng)用場景設(shè)計,特別適用于原子層沉積(ALD)工藝。

產(chǎn)品簡介:

QPVH/QPV系列隔膜閥,專為需要高精度、高純度及嚴苛工作環(huán)境的應(yīng)用場景設(shè)計。該系列閥門采用獨特的膜片式硬密封結(jié)構(gòu),實現(xiàn)了超低漏率與長壽命的完美結(jié)合,同時具備快速響應(yīng)能力,可靈活應(yīng)對各種復雜控制需求。特別適用于原子層沉積(ALD)工藝,能夠精細控制氣體用量,確保工藝的穩(wěn)定性和精確度。同時由我司自主研發(fā)設(shè)計制造的QPVH/QPV系列隔膜閥成功認證通過了國內(nèi)首臺(套)認定,標志著我司在世界領(lǐng)先超潔凈閥門技術(shù)領(lǐng)域取得重大突破,突破國際技術(shù)壁壘并成為國內(nèi)首個使用原子層沉積(ALD)工藝生產(chǎn)并投入制造的廠家,為國產(chǎn)芯片全產(chǎn)業(yè)鏈自主研發(fā)工藝提供了強有力的保障。

 

產(chǎn)品特點:

一:快速響應(yīng)與超長使用壽命:QPV/QPVH系列隔膜閥采用先進的設(shè)計,響應(yīng)時間低至20ms,并且確保在快速響應(yīng)的同時,擁有超長的使用壽命。這得益于其優(yōu)質(zhì)的膜片材料和優(yōu)化的密封結(jié)構(gòu),即使在高頻次操作下也能保持穩(wěn)定的性能;

二:耐高溫執(zhí)行器:為滿足不同工藝對溫度的特殊要求,該系列閥門可選配耐高溫執(zhí)行器,確保在高溫環(huán)境下仍能正常工作,拓寬了應(yīng)用范圍;

三:嚴格的泄漏測試:每臺QPV/QPVH系列隔膜閥均經(jīng)過單獨的氦質(zhì)譜泄漏測試,確保內(nèi)漏率和外漏率均達到行業(yè)領(lǐng)先水平(≤ 1×10-10Pa.m3/sec.He),為客戶帶來生產(chǎn)提高以及產(chǎn)品質(zhì)量保證;

四:靈活的連接選項:提供模塊化表面安裝、卡套管對焊和UCR®端接等多種連接方式,方便用戶根據(jù)實際需求進行選擇和安裝,提升了系統(tǒng)的靈活性和便捷性。

 

主要部件材料:

閥體:316L(VIM+VAR)

膜片:Ni-Co alloy /UNS R30003

密封墊:PFA

 

主要工作條件:

進口壓力:真空至 145psig

工作溫度:0~120℃,0~200℃(高溫型)

流量系數(shù):0.27/0.62

內(nèi)漏率:≤ 1×10-10Pa.m3/sec.He

外漏率:≤ 1×10-10Pa.m3/sec.He

內(nèi)表面粗糙度:Ra ≤ 0.13μm

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