產(chǎn)品簡介：

QPVH/QPV系列隔膜閥，專為需要高精度、高純度及嚴苛工作環(huán)境的應(yīng)用場景設(shè)計。該系列閥門采用獨特的膜片式硬密封結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)了超低漏率與長壽命的完美結(jié)合，同時具備快速響應(yīng)能力，可靈活應(yīng)對各種復雜控制需求。特別適用于原子層沉積（ALD）工藝，能夠精細控制氣體用量，確保工藝的穩(wěn)定性和精確度。同時由我司自主研發(fā)設(shè)計制造的QPVH/QPV系列隔膜閥成功認證通過了國內(nèi)首臺（套）認定，標志著我司在世界領(lǐng)先超潔凈閥門技術(shù)領(lǐng)域取得重大突破，突破國際技術(shù)壁壘并成為國內(nèi)首個使用原子層沉積（ALD）工藝生產(chǎn)并投入制造的廠家，為國產(chǎn)芯片全產(chǎn)業(yè)鏈自主研發(fā)工藝提供了強有力的保障。

產(chǎn)品特點：

一：快速響應(yīng)與超長使用壽命：QPV/QPVH系列隔膜閥采用先進的設(shè)計，響應(yīng)時間低至20ms，并且確保在快速響應(yīng)的同時，擁有超長的使用壽命。這得益于其優(yōu)質(zhì)的膜片材料和優(yōu)化的密封結(jié)構(gòu)，即使在高頻次操作下也能保持穩(wěn)定的性能；

二：耐高溫執(zhí)行器：為滿足不同工藝對溫度的特殊要求，該系列閥門可選配耐高溫執(zhí)行器，確保在高溫環(huán)境下仍能正常工作，拓寬了應(yīng)用范圍；

三：嚴格的泄漏測試：每臺QPV/QPVH系列隔膜閥均經(jīng)過單獨的氦質(zhì)譜泄漏測試，確保內(nèi)漏率和外漏率均達到行業(yè)領(lǐng)先水平（≤ 1×10^-10Pa.m³/sec.He），為客戶帶來生產(chǎn)提高以及產(chǎn)品質(zhì)量保證；

四：靈活的連接選項：提供模塊化表面安裝、卡套管對焊和UCR^®端接等多種連接方式，方便用戶根據(jù)實際需求進行選擇和安裝，提升了系統(tǒng)的靈活性和便捷性。

主要部件材料：

閥體：316L（VIM+VAR）

膜片：Ni-Co alloy /UNS R30003

密封墊：PFA

主要工作條件：

進口壓力：真空至 145psig

工作溫度：0~120℃，0~200℃（高溫型）

流量系數(shù)：0.27/0.62

內(nèi)漏率：≤ 1×10^-10Pa.m³/sec.He

外漏率：≤ 1×10^-10Pa.m³/sec.He

內(nèi)表面粗糙度：Ra ≤ 0.13μm